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产品特点：
实现纳米级定位、最小步距可达10nm
无回程间隙
响应频率快，稳定漂移小
无磁无油结构，不受磁场干扰
可实现在10-5pa环境
负载能力强，行程大。
结构稳定靠，紧凑小巧
重读定位精度最高±50nm
断电自锁、运行热量低
所有型号可支持客户定制开发
规格型号：
型号 | LWF-XY | LWF-XY150 | LWF-XYXW |
电机类型 | 压电马达 | ||
行程（mm） | 20*20 、50*50 、75*75 105*105 | 150*150 | 110*75 75*75 105*105 |
最大负载（kg） | 10 | ||
最大速度（mm/S） | 50 | ||
最小步距(nm) | 50 | ||
重复定位精度（nm） | ±200（全行程） | ||
位置反馈 | 光栅尺 | ||
基体材质 | 铝合金 | ||
基体重量（kg） | 2-5 | 10 | 3 |
温馨提示：以上产品可定制，由于可选型号太多，如需详细参数资料，请与我们联系咨询。
