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产品特点：
实现纳米级定位、最小步距可达10nm
无回程间隙
响应频率快，稳定漂移小
无磁无油结构，不受磁场干扰
可实现在10-5pa环境
负载能力强，行程大。
结构稳定靠，紧凑小巧
重读定位精度最高±50nm
断电自锁、运行热量低
所有型号可支持客户定制开发
规格型号：
| 型号 | LWF-C200 | LWF-C90 | LWF-C50 | LWF-C20 | LWF-C10 | LWF-C05 |
电机类型 | 压电马达 | |||||
行程（mm） | 200/150/120 | 90/80/70/60 | 50/40/30 | 20 /18/15 | 10/5 | 5/3 |
| 最大负载（kg） | 20 | 20 | 10 | 5 | 2 | 1 |
最大速度（mm/S） | 50 | 100 | 100 | 100 | 50 | 50 |
最小步距(nm) | 100 | 50（最大） | ||||
重复定位精度（nm） | ±200（全行程） | ±200（全行程） | ±200 | ±200 | ±200（全行程） | ±200（全行程） |
位置反馈 | 光栅尺 | |||||
基体材质 | 铝合金 | |||||
基体重量（kg） | 10 | 5 | 4 | 3 | 1 | 1 |
温馨提示：以上产品可定制，由于可选型号太多，如需详细参数资料，请与我们联系咨询。
