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产品特点：
实现纳米级定位、最小步距可达10nm
无回程间隙
响应频率快，稳定漂移小
无磁无油结构，不受磁场干扰
可实现在10-5pa环境
负载能力强，行程大。
结构稳定靠，紧凑小巧
重读定位精度最高±50nm
断电自锁、运行热量低
所有型号可支持客户定制开发
规格型号：
型号 | LWF-Z-70 | LWF-Z-18 |
电机类型 | 压电马达 | 压电马达 |
行程（mm） | 5、10、30、50、70 | 5、 10、18 |
最大负载（kg） | 5 、10 | 1、3 |
最大速度（mm/S） | 100 | 100 |
最小步距(nm) | 150 | 150 |
重复定位精度(nm) | ±500 | ±500 |
真空兼容性pa | 10-5pa | 10-5pa |
位置反馈 | 感栅 | 感栅 |
基体材质 | 不锈钢 | 不锈钢 |
基体重量（kg） | 2.5 | 0.5 |
温馨提示：以上产品可定制，由于可选型号太多，如需详细参数资料，请与我们联系咨询。
